所有的電磁測量法都是通過比較的方法。也就是將測量信號與存儲在設備中的特征曲線進行比較高效利用。為了得到正確的結果體驗區，特征曲線必須與當前條件相匹配，可通過校準來實現品質。 

影響測量結果的重要因素包括：鍍層的電阻率、樣品的形狀以及表面的粗糙度能運用。此外利用好，操作人也會影響測量結果。

除了鍍層的厚度講理論，銅的電阻率也會影響探針之間的電勢差有望。電阻的變化取決于的合金材料的不同以及其加工方式，溫度也會引起其電阻的變化最為顯著。這可能需要進行溫度補償滿意度，或在相同的測量環(huán)境條件下進行校準奮戰不懈。

在非常小的樣品中生產能力，電場的分布與大面積樣品中的分布不同智慧與合力，這種偏差導致了涂層厚度測量的系統(tǒng)誤差。因此可持續，對于小樣品而言措施，需要特殊規(guī)格的探頭，或者探針距樣品的邊緣有最小距離的要求情況。

最后重要一點，儀器的操作方式也是一個主要的影響因素。確保探頭始終垂直接觸被測面堅持好，且不受外力開放要求。為了獲得更準確的測量值，還可以借助測量臺來使探頭自動接觸樣品構建。